半导体
行业应用 · 半导体
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半导体行业应用
SEMICONDUCTOR
为半导体制造行业提供超洁净级别橡塑密封件，满足极端化学环境与高纯度要求。
应用场景
晶圆处理设备密封件
化学气相沉积（CVD）设备密封件
刻蚀设备耐等离子体密封件
超纯水系统密封件
化学品输送管道密封件
主要产品类型
全氟橡胶（FFKM）O型圈
耐所有化学品，适用于最苛刻环境
氟橡胶（FKM）密封件
优异的耐化学品性能，低析出特性
超洁净硅橡胶件
低金属离子含量，符合洁净室要求
耐等离子体密封件
在等离子体环境下保持稳定性能
性能要求说明
超洁净要求
极低的金属离子与有机物析出，符合洁净室标准
耐化学品
耐强酸、强碱、有机溶剂及特殊工艺气体
耐等离子体
在等离子体刻蚀环境下保持结构完整性
低析出特性
极低的挥发性有机物析出，防止产品污染